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| 品牌： | 英國泰勒霍普森 | 型號： | Talysurf CCI |
| 測量精度： | 0.01 | 外形尺寸： | 500*600（mm） |
| 重量： | 50（kg） | 適用范圍： | 0-1 |
（1） 類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
（2） 分辨率： 0.1 A
（3） 測量點數： 1,048,576 （ 1024 x 1024 點陣 ）
更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。
主要特點
•*的相干相關算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測量時間
•RMS重復性：0.03A
儀器介紹
TalysurfCCI三維非接觸形貌儀采用CCI（*技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
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北京東方安諾生化科技有限公司
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